扫描电子显微镜?扫描电镜主要用于观察
扫描电子显微镜当电子束照射到样品上,扫描电镜是把从样品表面反射出来的电子收集起来并使它们成像,其基本原理是用极细的电子束在样品表面上扫描,请问扫描电镜的成像原理是什么扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,扫描电子显微镜的原理及应用扫描电子显微镜工作原理(1)扫描电子枪产生的高能电子束入射到样品的某个部位时,样品表面被电子束扫描,扫描电镜成像虽然不同光镜和透射电镜那样直接由物体发出的光线或电子束成像,扫描电镜:电子束到达样品。
扫描电子显微镜
当电子束照射到样品上,电子便会与样品发生多种反应。搏友其中部分电子可以直接透过样品;部分电子被样品散射开来;另外一部分电子从样品表面反射出来。把所有这些不同类型的电子收集起来,并使它们成像,便可以构成不同类型的电子显微镜。其中,把样品表面反射回来的电子收集起来并成像,这种电子显微镜叫做扫描电子显微镜。 1、扫描电镜的工作原理 在高压作用下,由于热阴极发射出的电子经阴极、栅极、阳极之间的电场聚焦、加速,在栅极与阳极之间形成一个具有很高能量的电子束斑,称之为电子源。这个电子束斑再经聚光镜压缩,会聚成极细的电子束并聚焦在样品表面上,这个高能量细聚焦的电子束在扫描线圈的作用下,在样品表面上进行扫描,与样品相互作用,激发出各种物理信号。各种物理信号的强度与样品的表面特征相关,可以用相应的探测器分别对其检测、放大、成像,用于各种微观分析。扫描电子显微镜主要收集的信号是二次电子和倍射电子。 2、扫描电镜的结构 由于扫描电镜的工作特性与透射电镜不同,所以它们的结构也有很大的差别。扫描电镜一般由电子光写系统、扫描系统、信号的检测及放大系统、图像的显示与记录系统、真空系统和电源系统组成。其中电子光学系统主要由电子枪、电磁聚光镜、光阑、样品室组成。与透射电镜的不同,它的作用不是用来成像的,而仅仅是用此获得一束高能量细隐闭聚焦的电子束,它是使样品产生各种信号的激发源。扫描系统的作用是使入射电子束在样品表面上作有规则的扫动,并与阴极射线管电子束在荧光屏上能基携槐够同步扫描,改变入射电子束在样品表面上的扫描振幅,以获得所需放大倍数的图像。扫描系统主要由扫描发生器、扫描线圈、放大倍率变换器组成。在入射电子作用下,样品表面上产生的各种物理信号被检测并经转换放大成用以调制图像或作其它分析的信号,这一过程就是由该系统来完成的。对于不同的物理信号要用不同的检测器来检测。目前扫描电镜常用的检测器主要是电子检测器,X射线检测器。 3、扫描电镜的试样制备 扫描电镜一个突出的特点就是对样品的适应性很大,所有的固态样品,无论是块状的、粉末的、金属的、非金属的、有机的、无机的都可以观察。而且样品的制备比较简单,但仍需要一定的技术和要求,否则就不能达到满意的结果。一般的扫描电镜对样品的要求主要有:适当的大小和良好的导电性。扫描电镜景深长成像越立体。
扫描电镜主要用于观察
扫描电镜主要用于观察纳米材料。
所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在一定范围内,在保扫描电镜持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。纳米材料具有许多与晶体、非晶态不同的、独特的物理化学性质纳米材料有着广阔的发展前竖蔽景。
扫描电镜方法是利用扫描电镜对样品的结构和性能进行分析的方法。扫描电镜的基本部件有透镜系统、电子枪、电子收集器、观察和记余洞州录影像的阴极射线管等。其基本原理是用极细的电子束在样品表面上扫描,然后按电视原理放大成像,显示在电视屏幕上。
当电子轰击样品表面时会产生各种信号,其中包括二次电子、背散射电子和不同能量的光子等。这些信号来自样品的特定发射区域,它随表面形貌的不同而变化。从而可以颤拿获得样品的成份、表面形貌、晶体结构等信息。
扫描电镜的特点之一是,用它检验大块样品时能获得高的分辨率,商品仪器可达50埃,专用仪器可达25埃。特点之二是,利用扫描电镜的大景深可获得样品的三维形态。这对生物学、医学等特别有价值。
扫描电子显微镜的原理及应用
扫描电子显微镜工作原理
(1)扫描
电子枪产生的高能电子束入射到样品的某个部位时,在相互作用区内发生弹性散射和非弹性散射事件,从而产生背散射电子、二次电子、吸收电子、特征和连续谱X射线、俄歇电子、阴极荧光等各种有用的信号,利用合适的旅侍亩探测器检测这些信号大小,就能够确定样品在该电子入射部位内的某些性质,例如微区形貌或成分等。
为了研究样品上更多部位的特征,必须利用扫描系统移动入射电子到样品上的不同位置。
(2)成像
扫描电镜的成像是靠扫描作用实现的。扫描发生器同时控制高能电子束和荧光屏中的电子束“同步扫描”,当电子束在样品上进行栅格扫描时拆森,在荧光屏上也以相同的方式同步扫描,因此“样品空间”上的一系列点就与“显示空间”逐点对应。
换言之,样品上电子束的各个位置与荧光屏上的各点确立了严格的对应关系。样品表面被电子束扫描,激发出各种物理信号,其强度与样品的表面特征有关,这些信号通过探测器按顺序、成比例地转为视频信号,经过放大,用来调制荧光屏对应点的电子束强度,即光点的亮度,这就形成了扫描电镜的图像。而图像上强度的变化反映出样品的特性。
扫描电镜成像虽然不同光镜和透射电镜那样直接由物体发出的光线或电子束成像,这种成像过程如同利用信号探测器作为摄像机,对样品表面逐点拍摄,把各点产生的信号转换到荧光屏上成像。
荧光屏上的图像实际上是由一系列灰度不同的亮点组成,这个亮点称为像素(Pixle)。像素点数越多,则图像的分辨率越高。
主要用途及适用范围
扫描电镜可应用于陶瓷材料分析、金属材料失效分析。在石油、地质、矿物领域,电子、半导体领域,医学、生物学领域,化工、高分子材料领域,公安刑侦工作领域,以及农、林业等方面都有广泛应用。
扫描电镜可进行显微形谈缓貌分析,如果配备了其它分析仪器也可进行成分的常规微区分析,包括元素定量、定性成分分析。进行显微形貌分析时,空间分辨率可达亚微米级;能够进行晶界的状态测量,或者晶体/晶粒的相鉴定,以及晶体、晶粒取向测量等;进行微区成分分析时,能够通过快速的多元素面扫描和线扫描进行分布测量。
在现代产业化生产和科学研究中,扫描电镜发展成为材料分析、监控工农业生产、保证产品质量、保障大生产流程安全高效的必要手段;同时在生物、环保、医学等有关人类的生存、发展领域的应用也日新月异;在军事现代高科技方面的发展(例如生物武器、化学武器战争、现场毒物检测、生命保障任务等)发挥了巨大的作用。
请问扫描电镜的成像原理是什么
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
扩展资料:
成像原理:
1、光学显微镜
光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反光镜组成。目镜和物镜都是凸透镜,焦距不同。物镜的凸透镜焦距小于目镜的凸透镜的焦距。物镜相当于投影仪的镜头,物体通过物镜成倒立、放大的实像。目镜相当于普通的放大镜,该实像又通过目镜成正立、放大的虚像。
经显微镜到人眼的物体都成倒立放大的虚像。反光镜用来反射,照亮被观察的物体。反光镜一般有两个反射面:一个是平面镜,在光线较强时使用;一个是凹面镜,在光线较弱时使用,可会聚光线。
2、电子显微镜
电子显微镜是根据电子光学原理,用电子束和清瞎电子透镜代替光束和光学透镜,使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。
电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示。20世纪70年代,透答滚空射式电子显微镜的分辨率约为0.3纳米(人眼的分辨本领约为0.1毫米)。
现在电子显微镜最大放大倍率超过300万倍,而光学显微镜的最大放大倍率备判约为2000倍,所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。
扫描电镜与透射电镜的区别
1、结构差异:
主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。透射电镜的样品在电子束中间,电子源在样品上方发射电子,经过聚光镜,然后穿透样品后,有后续的电磁透镜继续放大电子光束,最后投影在荧光屏幕上;扫描电镜的样品在电子束末端,电子源在样品上方发射的电子束,经过几级电磁透镜缩小,到达样品。当然后续的信号探侧处理系统的结构也会不同,但从基本物理原理上讲没什么实质性差别。
2、基本工作原理:
透射电镜:电子束在穿过样品时,会和样品中的原子发生散射,样品上某一点同时穿过的电子方向是不同,这样品上的这一点在物镜1-2倍焦距之间,这些电子通过过物镜放大后重新汇聚,形成该点一个放大的实像,这个和凸透镜成像原理相唯激同。这里边有个反差形成机制理论比较深就不讲,但可以这么想象,如果样品内部是绝对均匀的物质,没有晶界,没有原子晶格结构,那么放大的图像也不会有任何反差,事实上这种物质不存厅山丛在,所以才会有这种仪器存在的理由。
扫描电镜:电子束到达样品,激发样品中的二次电子,二次电子被探测器接收,通过信号处理并调制显示器上一个像素发光,由于电子束斑直径是纳米级别,而显示器的像素是100微米以上,这个100微米以上像素所发出的光,就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。实现样品上这个物点的放大。如果让电子束在样品的一定区域做光栅扫描,并且从几何排列上一一对应调制显示器的像素的亮度,便实现这个样品区域的放大成像。
3、对样品要求
(1)扫描电镜
SEM制样对样品的厚度没有特殊要求,可以采用切、磨、抛光或解理等方法将特定剖面呈现出来,从而转化为可以观察的表面。这样的表面如果直接观察,看到的只有表面加工损伤,一般要利用不同的化学溶液进行择优腐蚀,才能产生有利于观察的衬度。不过腐蚀会使样品失去原结构的部分真实情况,同时引入部分人为的干扰,对样品中厚度极小的薄层来说,造成的误差更大。
(2)透射电镜
由于TEM得到的显微图像的质量强烈依赖于样品的厚度,因此样品观测部位要非常的薄,例如存储器器件的TEM样品一般只能有10~100nm的厚度,这给TEM制样带来很大的难度。初学者在制样过程中用手工或者机械控制磨制的成品率不高,一旦过度削磨则使该样品报废。TEM制样的另一个问题是观测点的定位,一般的制样只能获得10mm量级的薄扮樱的观测范围,这在需要精确定位分析的时候,目标往往落在观测范围之外。目前比较理想的解决方法是通过聚焦离子束刻蚀(FIB)来进行精细加工。
扩展资料:
透射电子显微镜的成像原理 可分为三种情况:
(1)吸收像:当电子射到质量、密度大的样品时,主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大,通过的电子较少,像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
(2)衍射像:电子束被样品衍射后,样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力,当出现晶体缺陷时,缺陷部分的衍射能力与完整区域不同,从而使衍射波的振幅分布不均匀,反映出晶体缺陷的分布。
(3)相位像:当样品薄至100Å以下时,电子可以穿过样品,波的振幅变化可以忽略,成像来自于相位的变化。
百度百科-透射电镜
扫描电镜和透射电镜的区别
扫描电镜(TEM)和透射电镜(SEM)目前在各种材料结构,组织成分以及化学成分等方面研究上应用十分广泛,地位十分重要,其具体的区别如下:
1、电子种类不同。透射电镜收集的是透过样品的电子,扫描电镜是把从样品表面反射出来的电子收集起来并使它们成像。
2、观察得到的图像不同。透射电镜可以观察样品内部结构,但是一般只能观察切成薄片后的二维图像,许多电子无法透过的较厚样品,只能用扫描电镜才能看到。扫描电镜主要用来直接观察样品表面的立体结构,图像富扒拆滚春余有立体感,但只能反映出样品的表面形貌,无法显示样品内部的详细结构。御谨
3、成像原理不同。扫描电镜的成像原理是由电子枪产生的电子束经过三个磁透镜的作用,形成电子探针,经过透镜聚焦到样品表面上,也就是对样品扫描,然后把从样品表面发射出来的各种电子用探测器收集起来,并转变为电流信号经放大后再送到显像管转变成图像。
透射电镜和扫描电镜的特点及应用(越全越好)
1、透射电子显微镜电子束的波长要比可见光和紫外光短得多,并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比,也就是说电压越高波长越短。
透射电子显微镜在材料科学、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像隐裂蠢质量,必须制备更薄的超薄切片,通常为50~100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。
常用的方法有:超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品,通常是挂预处理过的铜网上进行观察。
2、扫描电镜的特点:有较高的放大倍数,2-20万倍之间连续可调;有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;试样制备简单。
生物:种子、花粉、细菌;
医学:血球、病毒;
动物:大肠、绒毛、细胞、纤维;
材料:陶瓷、高分子、粉末、金属、金属夹杂物、环氧树脂;
化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥(杆菌)、机械、电机及导电性样品,如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察)电子材料等。
扩展资料
透射电镜的总体工作原理是:由电子枪发射出来的电子束,在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜,通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑,照射源知在样品室内的样品上;透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息,样品内致密处透过的电子量少,稀疏处透过的电子量多;
经过物镜的会聚调焦和灶陪初级放大后,电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像,最终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上;荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。
扫描电子显微镜的制造依据是电子与物质的相互作用。扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接收、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
扫描电镜的原理
扫描电镜原理:所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫扒蠢描运动叫做行扫描或称作水平扫描,把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同,行扫描的速度比帧扫描的速度快,对于1000条线的扫描图象来说,速度比为1000。扫描电子显微镜桐渗是一种大型分局此脊析仪器,它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。
扫描电镜是用来测什么的
扫描电槐森行镜(SEM)一般用来观察组织细胞的表面形貌。
我见过的SEM可以观察到微绒毛、伪足、正在死亡的细胞表面出现的穿孔等结构,春段可能还有更高级的吧。透射电镜(TEM)可以用来观察细胞内部的细胞器等超微结构。不过我猜想操作技术足够精细到将一个细胞剖开的话,SEM也是可以观察细胞内部的。
扫描电镜的工作原理:
扫描电镜是对样品表面形态进行测试的一种大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素的原子核及外层电子发生单次或多次弹性与非弹性碰撞,一些电子被反射出样品表面,而其余的电子则渗入样品中,逐渐失去其动能,最后停止运动,并被样品吸收。
在此过程中有99%以上的入射电子能量转变成样品热能,而其余约1%的入射电子能量从样品中激发出各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电铅哗子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备就是通过这些信号得到讯息,从而对样品进行分析的。
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